Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З 85/Н254 Автор(ы) : Михайлов Н.Н., Смирнов Р.Н., Дворецкий С.А. Заглавие : Нанотехнологии в полупроводниковой электронике : монография Выходные данные : Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2004 Колич.характеристики :367 с.: ил.; 25 см. Коллективы : Институт физики полупроводников (Новосибирск) Примечания : Библиогр. в конце параграфов. - Авт. указаны в огл. ISBN, Цена 5-7692-0680-2 В пер.: 150 р. ГРНТИ : 47.13.12 УДК : 621.382 ББК : З 856-06 Предметные рубрики: Наноэлектроника-- технология Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): наноструктуры (физ.)--полупроводниковые приборы Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Доп.точки доступа: Михайлов, Н.Н.; Смирнов, Р.Н.; Дворецкий, С.А.; Асеев, А.Л. \ред.\; Институт физики полупроводников (Новосибирск)