Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З 84/Ч512 Автор(ы) : Чесноков, Владимир Владимирович, Резникова, Елена Федоровна, Чесноков, Дмитрий Владимирович Заглавие : Лазерные наносекундные микротехнологии : монография Выходные данные : Новосибирск: СГГА, 2003 Колич.характеристики :298 с.: ил.; 22 см. Примечания : Библиогр.: с. 281-298 ISBN, Цена 5-87693-119-5 В пер.: 90 р. ГРНТИ : 47.13.11 УДК : 621.373.826 ББК : З 844.1-060.14 Предметные рубрики: Микроэлектроника-- лазерные технологии Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): лазерные импульсы сверхкороткие - взаимодействие с веществом Экземпляры :02(1) Свободны : 02(1) Доп.точки доступа: Резникова, Елена Федоровна; Чесноков, Дмитрий Владимирович