И-З 84
   B55
И-З 84 / B55-02


    Bhattacharyya, Bijoy.
    Electrochemical micromachining for nanofabrication, MEMS and nanotechnology / B. Bhattacharyya. - Amsterdam [et al.] : Elsevier/ William Andrews, 2015. - XXV,270 p. : ill., tab. - (Micro & nano technologies series). - Bibliogr. at the end of the chapters. - Ind.: p. 259-270
Перевод заглавия: Электрохимическая микрообработка для нанофабрикатов, MEMS и нанотехнологий
ГРНТИ
ББК З 844.1
Рубрики: Микроэлектромеханические системы
   Нанотехнология

Кл.слова (ненормированные):
микроинструменты

Перейти: Оглавление
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)