И-З 84 B55 И-З 84 / B55-02 Bhattacharyya, Bijoy. Electrochemical micromachining for nanofabrication, MEMS and nanotechnology / B. Bhattacharyya. - Amsterdam [et al.] : Elsevier/ William Andrews, 2015. - XXV,270 p. : ill., tab. - (Micro & nano technologies series). - Bibliogr. at the end of the chapters. - Ind.: p. 259-270 Перевод заглавия: Электрохимическая микрообработка для нанофабрикатов, MEMS и нанотехнологий
Рубрики: Микроэлектромеханические системы Нанотехнология Кл.слова (ненормированные): микроинструменты Перейти: Оглавление Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |