Пр3939 Пр3939/6 Пр3939/6 / Пр3939/6-02 Проблемы субмикронной технологии : сборник / Отв. ред. А.А. Орликовский. - Москва : Наука, 1993. - 113 с., включ. обл. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.6). - Библиогр. в конце ст. - Рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр Доп.точки доступа: Орликовский, Александр Александрович \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |