Пр3939 Пр3939/4 Пр3939/4 / Пр3939/4-02 Проблемы микроэлектронной технологии : сборник / Отв. ред.: Л.В. Великов. - Москва : Наука, 1992. - 100 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.4). - Библиогр. в конце ст. - Рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр Доп.точки доступа: Великов, Л.В. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |