Пр3939 Пр3939/3 Пр3939/3 / Пр3939/3-02 Моделирование технологических процессов микроэлектроники : сборник / Отв. ред.: Т.М. Махвиладзе. - Москва : Наука, 1992. - 120 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.3). - Библиогр. в конце ст. - Рубрики: Микроэлектроника--Автоматизация технологических процессов Дескрипторы: сб пр Доп.точки доступа: Махвиладзе, Т.М. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |