Пр3939 Пр3939/2 Пр3939/2 / Пр3939/2-02 Микроструктурирование тонких пленок : сборник / Отв. ред. А.А. Орликовский. - Москва : Наука, 1991. - 112 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.2). - Библиогр. в конце ст. - Рубрики: Сверхбольшие интегральные схемы--Производство Дескрипторы: сб пр Доп.точки доступа: Орликовский, А.А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |