Пр3939 Пр3939/1 Пр3939/1 / Пр3939/1-02 Проблемы микроэлектроники : сборник / Отв. ред. В.И. Рыжий. - Москва : Наука, 1991. - 95 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Физико-технологический институт (Москва), ISSN 0868-7129 ; т.1). - Библиогр. в конце ст. - Рубрики: Микроэлектронная технология Дескрипторы: сб пр Доп.точки доступа: Рыжий, В.И. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |