И-З 84 F90 И-З 84 / F90-02 Freund, L. B. Thin film materials : stress, defect formation and surface evolution / L. B. Freund, S. Suresh. - Cambridge [et al.] : Cambridge university press, 2003. - XVIII,750 p. : ill. - Bibliogr.: p. 713-737. - Auth. ind.: p. 738-744. - Subject ind.: p. 745-750 Перевод заглавия: Тонкопленочные материалы: внутренние напряжения, образование дефектов и поверхностные изменения
Рубрики: Микроэлектронная технология Микроэлектроника--Материалы Кл.слова (ненормированные): МЭМС-структуры Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Suresh, S. Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |