З 84 И265 З 84 / И265-02 Игнатов, Александр Николаевич. Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники : учебное пособие: [по направлению подготовки 210400 "Телекоммуникация"] / А. Н. Игнатов, И. В. Решетнева ; Федер. агентство связи, Сиб. гос. ун-т телекоммуникаций и информатики. - Новосибирск : СибГУТИ, 2011. - 211 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 206-211. -
Рубрики: Микроэлектроника--Материалы Микроэлектронные приборы--Производство Наноэлектроника--Материалы Наноэлектронные устройства--Производство Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Решетнева, Ирина Владимировна Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |