И-З 84 Н254 И-З 84 / Н254-02 Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике / [В. А. Емельянов [и др.] ; НАН Беларуси, Объед. ин-т машиностроения. - Минск : Беларуская навука, 2014. - 411 с. : ил. - Библиогр.: с. 382-407 Авт. указаны на обороте тит. л.
Рубрики: Микроэлектронные приборы--Производство Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Емельянов, Виктор Андреевич; Рогачев, Александр Владимирович; Федосенко, Николай Николаевич; Пилипцов, Дмитрий Геннадьевич Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |