З 84 М744 З 84 / М744-02 Моделирование роста и легирования полупроводниковых пленок методом Монте - Карло : монография / Л.Н. Александров, Р.В. Бочкова, А.Н. Коган, Н.П. Тихонова; Отв. ред. С.И. Стенин; АН СССР. Сиб. отд-ние. Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск : Наука, Сиб. отд-ние, 1991. - 167 с. : ил., табл. Авт. на обл. не указаны. - Библиогр.: с. 150-162. - Указ. предм., авт.: с. 163-166 Рубрики: Полупроводниковая технология Дескрипторы: МОНОГР Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |