И-Л1 M65 И-Л1 / M65-02 Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, a. applicartions / vol. ed.: N. Kockmann. - Weinheim : Wiley-VCH, 2006. - XXII,507 p. : ill. - (Advanced micro & nanosystems ; vol. 5). - Bibliogr. at the end of the chapters. - Subject ind.: p. 497-507 Перевод заглавия: Микротехнологические процессы: основы, устройства, производство и применения
Рубрики: Химико-технологические процессы Перейти: Оглавление Доп.точки доступа: Kockmann, Norbert \ed.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |