К6 С952 К6 / С952-02 Сыркин, Виталий Григорьевич. CVD- метод. Химическое парофазное осаждение [Текст] / В.Г. Сыркин ; Рос. акад. наук. Ин-т металлоорган. химии им. Г.А. Разуваева. - М. : Наука, 2000. - 496 с. : ил. Библиогр.: с. 467-491 Рубрики: Газофазная металлизация Тонкие пленки--Изготовление Дескрипторы: моногр Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |