Г54 Е924 Г54 / Е924-02 Ефремов, Александр Михайлович. Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - Москва : Физматлит, 2013. - 215 с. : ил. ; 23 см. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце докл. - 300 экз.. -
Рубрики: Плазма--Химические реакции в плазме Газоразрядная плазма Микроэлектронные приборы--Производство Кл.слова (ненормированные): Хлор - Физико-химические свойства -- Плазма (физ.) газоразрядная - Физика Доп.точки доступа: Светцов, Владимир Иванович Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |