З 85    Б269 З 85 / Б269-02     Барыбин, Анатолий Андреевич.     Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники : [учебное пособие для вузов по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"] / А. А. Барыбин, В. И. Томилин, В. И. Шаповалов ; под общ. ред. А. А. Барыбина. - Москва : Физматлит, 2011. - 782 с. : ил. ; 23 см. - Предм. указ.: с. 773-782. - Библиогр.: с. 771-772. - 500 экз.. - ГРНТИ 47.13 УДК 621.38:538.9(075.8)^V3 ББК З 85-06я73 Рубрики: электронные приборы--производство Кл.слова (ненормированные): Электроника Доп.точки доступа: Томилин, Виктор Иванович; Шаповалов, Виктор Иванович Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1)