Пр3888 Пр3888/62 Пр3888/62 / Пр3888/62-02 Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии : сборник / отв. ред. Ю. А. Новиков. - М. : Наука, 2006. - 142,[5] с. : ил. ; 24 см. - (Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова / Рос. акад. наук, ISSN 0233-9390 ; т. 62). - Библиогр. в конце ст. - 400 экз. Рез. ст. англ.
Рубрики: Микроэлектронная технология Линейные размеры--измерения Кл.слова (ненормированные): Линейные измерения Доп.точки доступа: Новиков, Ю.А. \ред.\ Экземпляры всего: 1 02 (1) Свободны: 02 (1) |