З 85
   Н254


   
    Нанотехнологии в полупроводниковой электронике : монография / [Н. Н. Михайлов, Р. Н. Смирнов, С. А. Дворецкий и др.] ; отв. ред. А. Л. Асеев; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2004. - 367 с. : ил. ; 25 см. - Библиогр. в конце параграфов. - 500 экз.
Авт. указаны в огл.
ГРНТИ
УДК
ББК З 856-06
Рубрики: Наноэлектроника--технология
Кл.слова (ненормированные):
Наноструктуры (физ.) -- Полупроводниковые приборы


Доп.точки доступа:
Михайлов, Н.Н.; Смирнов, Р.Н.; Дворецкий, С.А.; Асеев, А.Л. \ред.\; Институт физики полупроводников (Новосибирск)
Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)