З 84
   К592


    Козловский, Виталий Васильевич.
    Модифицирование полупроводников пучками протонов [Текст] / В.В. Козловский; Отв. ред. Малкович Р.Ш. - СПб. : Наука, 2003. - 268 с. : ил. - 1 экз.
Библиогр.: с. 257-264
ББК З 843.308 + В379.227
Рубрики: Облучение, влияние на структуру и свойства, полупроводников
   Полупроводниковые материалы, производство

Дескрипторы: моногр

Экземпляры всего: 1
02 (1)
Свободны: 02 (1)